yp街机

yp街机上海进军PECVD市�。С致呒痛娲⑿酒圃�

2022/12/13 15:23:53

yp街机

    yp街机(以下简称“yp街机上海”)（科创板股票代码：：：688082），，作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决方案的卓越装备供应商，，今天宣布推出拥有自主知识产权的Ultra Pmax等离子体增强化学气相沉积（PECVD）装备，，拓展了一个主要的全新产品分类。yp街机上海预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD装备。

    yp街机上海首席执行官王坚体现：：：“Ultra Pmax PECVD装备的推出，，标记着我们在前道半导体应用中进一步扩展到了全新的工艺领域。我们有许多客户是28纳米及以上的逻辑器件供应商。我们预测到了成熟工艺节点产能的增添，，由于中国市场的成熟工艺节点产能显着供不应求。这款PECVD装备，，使yp街机上海在知足全球先进逻辑和存储芯片市场需求的同时，，也将更好地服务于全球客户。我们预测，，这次推出的PECVD装备，，及上个月宣布的前道涂胶显影装备Ultra Lith，，这两个全新的产品系列将使我们全球可服务市场规模翻倍增添。”

    Ultra Pmax PECVD装备设置了自主知识产权的腔体、气体分配装置和卡盘设计，，能够提供更好的薄膜匀称性，，更小的薄膜应力和更少的颗粒特征。该装备接纳单腔体�？榛杓疲辛街稚柚�：：：一种是可以设置一至三腔体�？椋屎霞∧げ慊蚩焖俟ひ辗椒�；；另一种是可以设置四至五腔体�？椋谟呕艿耐保С趾衲こ粱约案さ墓ひ帐奔�。以上两种设置中，，每个腔体都装置有多个加热卡盘，，以优化工艺控制并提高产能。
【网站地图】
【网站地图】