庆祝yp街机上海ECP装备500电镀腔顺遂交付！！
2022/8/23 16:26:19
8月22日，，，yp街机（以下简称“yp街机上海”，，，股票代码：688082）的电化学电镀（ECP）装备系列第500个电镀腔出机，，，顺遂交付客户。�！！Ｕ馐莥p街机开展史上的一个很是主要的里程碑，，，标记着yp街机上海向新征程迈出要害一步。�！！�
王坚总司理在庆祝仪式上揭晓致辞，，，他体现随着IC电路手艺节点缩小和先进封装集成度提高，，，电镀手艺被普遍接纳，，，包括铜、、、钴、、、镍、、、锡银、、、金等金属电镀应用。�！！Ｏ衷谌虺�90%的电镀装备市场被国际至公司占有。�！！p街机自1998年成立之初就聚焦铜互连手艺，，，同时结构专利效果，，，是天下上早期进入水平电镀领域并自主掌握电镀焦点手艺的三家公司之一。�！！p街机自创的结构设计与电镀手艺不但拥有全球专利�；；�，，，且能够充分抵达客户产品规格需求并具备本钱优势。�！！�
“在科技部02重大专项支持下，，，经由产学研相助研发，，，以及客户端量产验证。�！！Ｏ衷�，，，yp街机公司的电镀手艺已在前道双大马士革和先进封装、、、3D TSV 以及第三代半导体应用领域划分实现了质的飞跃。�！！Ｎ蘼凼嵌嘣不费艏忠�，，，以及第二阳极手艺，，，照旧高速电镀手艺，，，都在客户端产线体现出相比竞争敌手更佳的性能。�！！Ｏ衷�，，，yp街机产品订单已经抵达67台，，，销售总额凌驾12亿，，，阻止今日已累计出机电镀腔500个腔体。�！！�”
据王坚总司理介绍，，，yp街机上海的电镀手艺已通过了半导体大厂的生产线工艺评估，，，应用于55nm至28nm、、、TSV、、、高密度扇出封装、、、通例Pillar、、、RDL产品生产线，，，均获得了客户的高度评价。�！！Ｗ柚怪�2021年12月，，，yp街机电镀装备销售额占全球集成电路电镀市场4%。�！！１鸬�，，，2022年公司前道铜互连电镀装备和华力微电子联合申报，，，获得中国集成电路立异联牛耳办的“集成电路工业手艺立异奖”的效果工业化奖。�！！�
Ultra ECP map前道铜互连电镀装备
建设在公司成熟的电化学电镀（ECP）手艺基础之上，，，专为双大马士革应用而设计，，，可提高产能和可靠性。�！！CP电镀系统设置了yp街机上海自主研发的多阳极局部电镀功效，，，让客户可对大马士革结构上的金属铜沉积层举行有用控制。�！！８米氨傅囊ひ沼诺惆ㄓ乓斓耐夹谓峁固畛淠芰�、、、优异的片内及片间金属膜厚匀称性，，，能够兼容5nm以下的超薄籽晶层，，，知足最先进手艺节点的大马士革电镀的需求，，，同时降低耗材及拥有本钱，，，确保高产能和正常运行时间。�！！�
Ultra ECP ap电镀装备
该装备可执行许多要害的WLP电镀工艺，，，包括铜凸块和高密度扇出（HDFO）工艺。�！！８孟低辰柚派杓频墓ひ涨患傲魈骞┯ο低�，，，可坚持强盛稳固的流量输出，，，实现快速匀称的电镀。�！！５ゾг菜绞降缍粕杓埔采ǔ吮手笔降缍粕杓票４娴牟畋鸲埔翰壑涞慕恢廴疚侍狻��！！８米氨冈谕�、、、镍、、、锡、、、银和金电镀历程中拥有精彩体现。�！！�
Ultra ECP 3D电镀装备
该装备可应用于填充3D硅通孔（TSV），，，借助yp街机半导体电镀装备的平台，，，可为高深宽比（H.A.R）TSV铜应用提供高性能、、、无孔洞的镀铜功效。�！！Ｔ诟呱羁肀裙柰ǹ子上露系奶畛淅讨�，，，铜电解液浸入电镀液的时间，，，必需完全填充通孔，，，不可滞留任何气泡。�！！Ｎ思铀僬庖焕�，，，我们接纳了一体化预湿方法。�！！Ｕ庵窒冉氖忠战饩龇桨缚梢栽谥圃旃ひ罩邪芨叩男б�、、、电镀效率和产能。�！！�
Ultra ECP GIII电镀装备
该装备可支持化合物半导体(SiC, GaN)和砷化镓(GaAs) 晶圆级封装，，，举行铜、、、镍、、、锡银、、、金电镀。�！！８孟盗凶氨富鼓芙穑ˋu）镀到反面深孔工艺中，，，具有更好的匀称性和台阶笼罩率。�！！ltra ECP GIII还配备了全自动平台，，，支持6英寸/8英寸平边和V型槽晶圆的批量工艺，，，同时连系了yp街机半导体的第二阳极和高速栅板手艺，，，可实现更佳性能
yp街机上海作为洗濯装备供应商，，，多维度结构半导体装备领域，，，在半导体洗濯装备、、、前道半导体电镀装备和先进封装湿法装备（包括后道电镀装备）的营业收入均有较大增添。�！！０氲继遄氨甘谐」婺Ｈ栽诶┐�，，，yp街机上�；；菇松习氲继遄氨腹ひ祷拇悍�，，，坚持手艺差别化、、、产品平台化、、、客户全球化的焦点理念，，，尊重偕行IP及�；；ぷ约篒P，，，面向全球半导体芯片生产线，，，推动上海研发、、、上海原始立异、、、上海制造走向天下！！
