yp街机

yp街机半导体首台洗濯装备入驻芯物科技！

2021/6/15 14:23:23

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     2021年6月7日，，上海芯物科技有限公司12吋中试生产线工艺装备搬入仪式在新傲工厂举行，，yp街机首台洗濯装备入驻芯物科技！
   
    据国家智能传感器立异中心认真人在致辞时介绍，，12英寸先进传感器特色工艺研发中试平台凌驾80%的装备均接纳国产装备，，为国产装备提供验证平台，，加速传感器工业链国产化，，实现自主可控。。。
   
    王晖先生在致辞时说：“能够获得和芯物科技一起开展的时机，，我代表yp街机向芯物科技体现衷心的谢谢！在这个充满时机与挑战的时代，，期待未来和芯物科技一起，，开发一些全球领先的差别化特色工艺和装备，，把中国的MEMS做到天下前线！”
   
    yp街机本次进驻芯物科技的装备为前道刷洗装备，，该装备接纳单片腔体对晶圆正反面依工序洗濯，，可举行包括晶圆反面刷洗、、晶圆边沿刷洗、、正反面二流体洗濯等洗濯工序。。。装备占地面积小，，产能高，，稳固性强，，多种洗濯方式无邪可选，，且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。。。

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