yp街机

yp街机半导体首台12寸单晶圆薄片洗濯装备提前获得验收！！

2021/1/13 10:38:43

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    2021年1月8日，，，yp街机半导体首台应用于大功率半导体器件制造的新款12寸单晶圆薄片洗濯装备已通过厦门士兰集科量产要求，，，提前验收！！该装备于2020年5月20日作为首批装备之一搬入工厂，，，从正式装机到应用于产品片生产，，，只用了18天的时间，，，原定一年的验证期仅用了6个月即顺遂完成验收！！

 

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装备搬入厦门士兰集科
 

    yp街机新款12寸单晶圆薄片洗濯装备，，，是一款高产能的四腔系一切，，，用于超薄片的硅减薄湿法蚀刻工艺，，，以消除晶圆应力、、、并举行外貌洗濯等。该系统的传输及工艺�？？？槲」杵陌崴图肮ひ沾硖峁┝擞杏玫慕饩龇桨�，，，基于伯努利效应，，，该系统在传输与工艺中，，，与晶圆外貌完全无接触，，，消除由接触带来的机械损伤，，，提高器件的良率。通过差别的设定，，，该系统可适用于Taiko片、、、超薄片、、、键合片、、、深沟槽片等差别厚度的晶圆；通过接纳差别的化学药液组合，，，该系统可拓展应用于洗濯、、、光刻胶去除、、、薄膜去除和金属蚀刻等工艺。

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yp街机12寸单晶圆薄片洗濯装备
 

    yp街机半导体12寸单晶圆薄片洗濯装备的快速投入量产使用并提前乐成验收是yp街机与海内量产客户团队的细密相助效果。在本次验收历程中，，，海内量产客户团队对该装备给予了大力支持和资助，，，通过双方的配合起劲，，，最终装备的可靠性、、、稳固性及工艺能力在短时间内抵达验收标准。作为yp街机半导体2020年推出的主要新产品之一，，，该装备的顺遂验收不但为两个团队积累了名贵履历，，，也对推动该装备在功率器件新兴市场的推广具有主要意义，，，更为以后yp街机洗濯装备手艺提升、、、营业拓展提供坚实包管。

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