yp街机

yp街机半导体装备宣布Ultra Furnace立式炉装备，，，进军干法工艺市场

2020/4/3 14:20:07

yp街机

该装备展示了中韩研发团队相助新效果


    先进半导体装备领域的卓越晶圆洗濯装备供应商——yp街机半导体装备（纳斯达克：：yp街机R），，，本周宣布了立式炉装备（Ultra Furnace）——公司首台为多种干法工艺应用开发的系统。�！！９狙蟹⒌氖滋⑹铰氨赣呕罂墒迪指咝阅艿脱够喑粱↙PCVD），，，同时该装备平台还可延伸至氧化和退火，，，以及原子层沉积(ALD)等应用。�！！４舜蔚牧⑹铰氨敢舱瓜至藋p街机中国和韩国研发团队为时两年的相助效果。�！！�

 

yp街机·电子游戏(中国)官方网站

    “先进手艺节点带来了持续的挑战，，，这就要求装备供应商举行立异，，，而这种市场情形给yp街机提供了主要的时机。�！！�” yp街机半导体装备董事长王晖体现：：“一直立异是yp街机的DNA。�！！Ｎ颐欠⒚髁艘桓隹梢源觵p街机手艺中获益的市场需求，，，我们就将yp街机手艺延伸至该新细分市场，，，在yp街机已建设的湿法工艺产品系列上增添了Ultra Furnace立式炉产品系列，，，通过为客户的先进产品提供整体解决方案，，，同时也增添了yp街机市场机缘。�！！�”

    “Ultra Furnace立式炉产品是由我们中韩两国的专家团队相助开发差别化手艺的效果。�！！�”yp街机半导体韩国公司首席执行官金泳律说：：“yp街机韩国团队的成立让我们优异的上海团队如虎添翼，，，加速了我们进军市场的速率，，，并为本土客户提供精彩的手艺支持。�！！�”

    沉积工艺是指，，，在高温下化学气体在晶圆外貌上反映形成氧化硅或者氮化硅膜层。�！！ltra Furnace立式炉系统可用于批量处理多至100片12英寸（300毫米）晶圆。�！！Ａ⒁斓南低成杓剖褂昧诵驴⒌挠布�，，，提高了耐用性，，，同时搭载了yp街机成熟的软件手艺 、、自研的控制系统和算法。�！！Ｕ庑┨氐惆芰俗氨改芪裙痰乜刂浦瞥萄沽� 、、气体流量和温度。�！！�
 
    现在yp街机Ultra Furnace立式炉主要面向LPCVD工艺市场，，，后续只需对其组件和结构举行一些局部变换，，，就可知足其它目的应用需求。�！！�85%左右的硬件设置可坚持稳固，，，以是面向新应用的变换可有用地实现。�！！�
 
    yp街机半导体Ultra Furnace立式炉目的市场以中国大陆为起点，，，逐步向韩国和中国台湾市场推进。�！！p街机已于2020年头，，，向中国一家主要的逻辑客户的制造工厂交付了公司产研的第一台Ultra Furnace。�！！８米氨赣糜贚PCVD，，，现在已经在客户端装置并举行验证。�！！�

【网站地图】
【网站地图】